Verstärkter Bolzen zur Verwendung in einem Drehfutter und Drehfutter mit einem Solchen Verstärkten Bolzen
EP2513962
Art B1
30. September 2020
Anmelder: Lam Research AG 🇦🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2513962
- Aktenzeichen
- EP10837142
- Anmeldetag
- 2. Dezember 2010
- Veröffentlichung
- 30. September 2020
- Erteilung
- 30. September 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/687
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research AG
- Land
- 🇦🇹 Österreich
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Fachgebiete
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
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