Verfahren für Substrat-Recycling

EP2513964 Art B1 19. Februar 2014

Anmelder: Soitec 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2513964
Aktenzeichen
EP09806036
Anmeldetag
15. Dezember 2009
Veröffentlichung
19. Februar 2014
Erteilung
19. Februar 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Soitec
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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