Fotomaskenrohling und Verfahren zur Herstellung einer Fotomaske

EP2515169 Art B1 2. September 2020

Anmelder: Toppan Printing Co., Ltd., Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2515169
Aktenzeichen: EP10837459
Anmeldetag: 3. Dezember 2010
Veröffentlichung: 2. September 2020
Erteilung: 2. September 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/30G03F1/32G03F1/80H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Toppan Printing Co., Ltd.
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toppan Printing

Japanischer Konzern für Druck- und Verpackungstechnologien mit Sitz in Tokio, seit 1900 tätig. Produziert zudem Displays, Halbleitermasken und Sicherheitsdrucke.

1.905 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

1.545 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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