Ladungsträgerteilchenstrahlverarbeitungssystem mit schwenkbarem ringförmigen Gaszuführungssystem
EP2515321
Art B1
16. April 2014
Anmelder: Carl Zeiss Microscopy GmbH, Carl Zeiss NTS GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2515321
- Aktenzeichen
- EP12002787
- Anmeldetag
- 20. April 2012
- Veröffentlichung
- 16. April 2014
- Erteilung
- 16. April 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/305H01J37/317H01J37/30
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss Microscopy GmbH
Carl Zeiss NTS GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.
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Fachgebiete
Vertreten von
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Diehl & Partner
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