Ein Substrathalterpaar, ein Substratebonder und ein Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP2515322 Art A1 24. Oktober 2012

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2515322
Aktenzeichen: EP10837305
Anmeldetag: 20. Dezember 2010
Veröffentlichung: 24. Oktober 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/683H01L21/687H01L21/67B32B38/18H01L21/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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