Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung von Halbleitersubstraten

EP2515323 Art B1 19. März 2014

Anmelder: IMEC, Katholieke Universiteit Leuven K.U. Leuven R&D, Katholieke Universiteit Leuven, K.U.L. Leuven R&D, Popov, Sergey 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2515323
Aktenzeichen: EP11163336
Anmeldetag: 21. April 2011
Veröffentlichung: 19. März 2014
Erteilung: 19. März 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67B08B3/12H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC
Katholieke Universiteit Leuven K.U. Leuven R&D
Katholieke Universiteit Leuven, K.U.L. Leuven R&D
Popov, Sergey
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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🇧🇪 Katholieke Universiteit Leuven K.U. Leuven R&D

Katholieke Universiteit Leuven K.U. Leuven R&D ist die Technologietransfereinrichtung der belgischen Universität Leuven. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik, Pharma-/Biotechnologie und organische Chemie, ergänzt durch Mess- und Halbleitertechnik. Die Anmeldungen von 2004 bis 2021 betreffen unter anderem Diagnostik und Biomarker für die Tumortherapie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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