Substratbehandlungsvorrichtung

EP2515324 Art B1 30. März 2022

Anmelder: J.E.T. Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2515324
Aktenzeichen
EP10837547
Anmeldetag
13. Dezember 2010
Veröffentlichung
30. März 2022
Erteilung
30. März 2022
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/027H01L21/67G03F7/42
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
J.E.T. Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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