Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements mit einem Ätzmittel
EP2515326
Art B1
26. September 2018
Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2515326
- Aktenzeichen
- EP10837615
- Anmeldetag
- 14. Dezember 2010
- Veröffentlichung
- 26. September 2018
- Erteilung
- 26. September 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3213H01L23/00C23F1/02C23F1/18C23F1/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
Vertreten von
Hock, Joachim
München, Deutschland
88
Patente gesamt
24
Fachgebiete
9
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Müller-Boré & Partner Patentanwälte PartG mbB
Müller-Boré & Partner Patentanwälte PartG mbB · München