Verfahren zum Ätzen einer BST-Schicht
EP2515327
Art A1
24. Oktober 2012
Anmelder: STMicroelectronics (Tours) SAS, STMicroelectronics Srl 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2515327
- Aktenzeichen
- EP11305473
- Anmeldetag
- 20. April 2011
- Veröffentlichung
- 24. Oktober 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- STMicroelectronics (Tours) SAS
STMicroelectronics Srl - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇨🇭
STMicroelectronics International
Schweizer Gesellschaft des Halbleiterkonzerns STMicroelectronics, die Chips und Sensoren für Automobiltechnik, Industrie und Unterhaltungselektronik entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
de Beaumont, Michel
Grenoble, Frankreich
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