Reinigungsvorrichtung zur Entfernung von Wasserstofffluorid aus einer Elektrolytischen Lösung

EP2515371 Art B1 13. März 2019

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2515371
Aktenzeichen
EP10837656
Anmeldetag
16. Dezember 2010
Veröffentlichung
13. März 2019
Erteilung
13. März 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01M10/0566B01D15/00H01M10/0525
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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