Trockene Vakuumpumpe mit Spülgas System und Spülverfahren

EP2516863 Art B1 10. Oktober 2018

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2516863
Aktenzeichen
EP10785500
Anmeldetag
23. November 2010
Veröffentlichung
10. Oktober 2018
Erteilung
10. Oktober 2018
Rechtsraum
EP
IPC
F04C25/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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