Kissen für Chemisch-Mechanisches Polieren und Chemisch-Mechanisches Polierverfahren damit

EP2517828 Art A1 31. Oktober 2012

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2517828
Aktenzeichen: EP10839232
Anmeldetag: 14. Dezember 2010
Veröffentlichung: 31. Oktober 2012
Rechtsraum: EP
IPC: B24B37/00C08G18/74H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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