Pellikel für Lithographie
EP2518561
Art A1
31. Oktober 2012
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2518561
- Aktenzeichen
- EP12162067
- Anmeldetag
- 29. März 2012
- Veröffentlichung
- 31. Oktober 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/62G03F1/64
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
4.655 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Solf, Alexander
München, Deutschland
432
Patente gesamt
33
Fachgebiete
14
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