Lithographische Vorrichtung und Verfahren
EP2518563
Art A1
31. Oktober 2012
Anmelder: ASML Netherlands BV 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2518563
- Aktenzeichen
- EP12160749
- Anmeldetag
- 17. März 2011
- Veröffentlichung
- 31. Oktober 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G21K1/06G02B5/20G02B5/08C01B31/04H01B1/04H01B1/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands BV
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML Netherlands
ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.
390 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Siem, Max Yoe Shé
Amsterdam, Niederlande
151
Patente gesamt
19
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte