Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements mit einem Ätzmittel

EP2518759 Art B1 21. Juni 2017

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2518759
Aktenzeichen: EP10839564
Anmeldetag: 24. Dezember 2010
Veröffentlichung: 21. Juni 2017
Erteilung: 21. Juni 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3213H01L23/525C23F1/18C23F1/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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