Verbesserte Ultraschallreinigungsflüssigkeit sowie Verfahren und Vorrichtung damit
EP2519966
Art A2
7. November 2012
Anmelder: Lam Research AG 🇦🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2519966
- Aktenzeichen
- EP10840679
- Anmeldetag
- 7. Dezember 2010
- Veröffentlichung
- 7. November 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67B08B3/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research AG
- Land
- 🇦🇹 Österreich
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte