Rutheniumkomplexmischung, Herstellungsverfahren Dafür, Filmbildende Zusammensetzung und Verfahren zur Herstellung eines Rutheniumhaltigen Films

EP2520690 Art B1 11. April 2018

Anmelder: Tosoh Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2520690
Aktenzeichen
EP10840837
Anmeldetag
29. November 2010
Veröffentlichung
11. April 2018
Erteilung
11. April 2018
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/18H01L21/28H01L21/285C07F15/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tosoh Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tosoh Corporation

Japanisches Chemieunternehmen, das Petrochemikalien, Spezialchemikalien und Zement herstellt.

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