Optische Positionsmesseinrichtung

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP2520906

Aktenzeichen

EP12164250

Anmeldetag

16. April 2012

Veröffentlichung

20. Mai 2015

Erteilung

20. Mai 2015

Rechtsraum

EP

IPC

G01D5/347

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Position von zwei relativ zueinander entlang mindestens einer Messrichtung beweglichen Objekten. Die Positionsmesseinrichtung umfasst zum einen eine Maßverkörperung, die mit einem der beiden Objekte verbunden ist und eine sich in Messrichtung erstreckende Inkrementalteilung aufweist. Ferner ist eine Abtasteinheit vorgesehen, die mit dem anderen der beiden Objekte verbunden ist, und eine Lichtquelle, ein oder mehrere Gitter sowie eine Detektoranordnung umfasst. Die Detektoranordnung besteht aus mehreren in einer Detektionsebene angeordneten Gruppen von Detektorelementen, über die im Fall der Relativbewegung der beiden Objekte aus der Abtastung eines in der Detektionsebene resultierenden periodischen Streifenmusters mehrere positionsabhängige, phasenverschobene Abtastsignale erzeugbar sind; die Detektorelemente mit phasengleichen Abtastsignalen bilden jeweils eine Gruppe. Hierbei ist die Summe der Flächen der Detektorelemente einer Gruppe identisch mit der Summe der Flächen der Detektorelemente jeder anderen Gruppe ist; ferner ist der Flächenschwerpunkt der Detektorelemente einer Gruppe identisch mit dem Flächenschwerpunkt der Detektorelemente jeder anderen Gruppe. Vor den lichtempfindlichen Flächen der Detektorelemente sind periodische Blendenstrukturen angeordnet

Anmelder

Firma

Dr. Johannes Heidenhain GmbH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete