Oberflächenpositionserkennungsvorrichtung, Belichtungsvorrichtung und Belichtungsverfahren

EP2520978 Art B1 29. April 2015

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2520978
Aktenzeichen: EP12150436
Anmeldetag: 28. Juni 2006
Veröffentlichung: 29. April 2015
Erteilung: 29. April 2015
Rechtsraum: EP
IPC: G03F9/00G01B11/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

5.286 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von