Doppelter Tiegel zum Schmelzen von Silizium mit Recycle-Funktion und Herstellungsvorrichtung für Silizium-dünnfilm damit
Anmelder: Korea Institute of Energy Research 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2522764
- Aktenzeichen
- EP11190727
- Anmeldetag
- 25. November 2011
- Veröffentlichung
- 14. August 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C30B11/00C30B15/00C30B15/10C30B35/00C30B29/06
Abstract
A dual crucible for silicon melting and a manufacturing apparatus of a silicon thin film including the same are disclosed. The dual crucible for the silicon melting includes a graphite crucible formed in a container shape with an open top and a bottom having an outlet part formed therein to exhaust silicon melt, the graphite crucible comprising a slope part configured to connect the outlet part and an inner wall with each other, with a predetermined slope with respect to a top surface of the outlet part, and a quartz crucible insertedly coupled to the graphite crucible, with being formed in a corresponding shape to the graphite crucible, the quartz crucible having a silicon base material charged therein.
Anmelder
- Firma
- Korea Institute of Energy Research
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
Das Korea Institute of Energy Research (KIER) ist eine staatlich finanzierte südkoreanische Forschungseinrichtung für Energietechnologien. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Halbleiter- und elektrische Bauelemente, ergänzt um anorganische Chemie und Werkstoffe. Anmeldungen reichen bis 2004 zurück.
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