Systeme und Verfahren für Belüftungsgasmanagement

EP2523744 Art A2 21. November 2012

Anmelder: ENTEGRIS INC., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2523744
Aktenzeichen: EP11733281
Anmeldetag: 11. Januar 2011
Veröffentlichung: 21. November 2012
Rechtsraum: EP
IPC: B01D53/30B01D46/44H01L21/02B01D53/04F17C11/00F17C13/00F24F11/00F17C13/08F24F11/04

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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