Optische Positionsmesseinrichtung

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP2525195

Aktenzeichen

EP12166338

Anmeldetag

2. Mai 2012

Veröffentlichung

20. Januar 2016

Erteilung

20. Januar 2016

Rechtsraum

EP

IPC

G01D5/36G01D5/38

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Positionsmesseinrichtung mit einer Maßverkörperung und einer Abtasteinheit. Die Maßverkörperung umfasst eine sich in Messrichtung erstreckende Inkrementalteilung sowie mindestens eine Referenzmarkierung an einer Referenzposition. Die Referenzmarkierung weist zwei zu einer Referenzmarkierungs-Symmetrieachse spiegelsymmetrisch angeordnete Referenzmarkierungs-Teilfelder auf, die jeweils aus einer sich in Messrichtung erstreckenden Gitterstruktur mit einer örtlich veränderlichen Teilungsperiode bestehen. Die Abtasteinheit umfasst eine divergent abstrahlende Lichtquelle, ein oder mehrere Gitter sowie eine Referenzsignal-Detektoranordnung. Die Referenzsignal-Detektoranordnung weist mindestens vier Detektor-Array mit jeweils mehreren Detektorelementen auf. Die Detektor-Arrays sind derart ausgebildet und angeordnet, so dass aus der Abtastung der Referenzmarkierung über die Referenzsignal-Detektoranordnung ein erstes und zweites Paar von Teil-Referenzsignalen mit jeweils gegenphasigem Signalverlauf resultiert und das erste Paar von Teil-Referenzsignalen entlang der Messrichtung gegenüber dem zweiten Paar von Teil-Referenzsignalen um einen Versatzbetrag versetzt ist (Figur 3a).

Anmelder

Firma

Dr. Johannes Heidenhain GmbH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete