Elektrostatische Klemme und Verfahren zur Herstellung dieser elektrostatischen Klemme

EP2525389 Art A1 21. November 2012

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO, Nederlandse Organisatie voor Toegepast -Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2525389
Aktenzeichen
EP11166618
Anmeldetag
18. Mai 2011
Veröffentlichung
21. November 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00H01L21/683
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Nederlandse Organisatie voor Toegepast -Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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