Verfahren zur optischen Lithographie unterhalb des Beugungslimits
EP2526154
Art B1
21. November 2018
Anmelder: Karlsruher Institut für Technologie 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2526154
- Aktenzeichen
- EP11704420
- Anmeldetag
- 19. Januar 2011
- Veröffentlichung
- 21. November 2018
- Erteilung
- 21. November 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C09D4/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Karlsruher Institut für Technologie
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Karlsruher Institut für Technologie
Deutsche Universität und Forschungseinrichtung in Karlsruhe, entstanden aus Fusion von Universität und Großforschungszentrum, mit Lehre und Forschung in Natur-, Ingenieur- und Technikwissenschaften.
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Fachgebiete
Kanzlei
Meissner Bolte Patentanwälte
Bremen, Deutschland
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