Zerstäubungsvorrichtung mit separatem Sputtertarget und Verfahren dafür

EP2527487 Art A1 28. November 2012

Anmelder: Samsung Display Co., Ltd. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2527487
Aktenzeichen: EP12168951
Anmeldetag: 22. Mai 2012
Veröffentlichung: 28. November 2012
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/08C23C14/34H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Samsung Display Co., Ltd.
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Samsung Display

Südkoreanisches Tochterunternehmen der Samsung-Gruppe, das Displaypanels wie OLED- und LCD-Bildschirme für Smartphones, Fernseher und weitere Elektronikgeräte entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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