Verfahren zur Herstellung eines Epitaktischen Kristallsubstrats

EP2527500 Art B1 1. Mai 2019

Anmelder: JX Nippon Mining & Metals Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2527500
Aktenzeichen
EP11734646
Anmeldetag
19. Januar 2011
Veröffentlichung
1. Mai 2019
Erteilung
1. Mai 2019
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/02C23C16/30C30B25/18C30B29/40H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JX Nippon Mining & Metals Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JX Nippon Mining & Metals

JX Nippon Mining & Metals Corporation ist ein japanisches Unternehmen der Nichteisenmetallindustrie, das Kupfer, Halbleitermaterialien und Metallverarbeitung herstellt, Teil der ENEOS-Gruppe.

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