System und Verfahren zur Beurteilung Inhomogener Deformationen in Mehrschichtigen Platten

EP2529182 Art A1 5. Dezember 2012

Anmelder: Soitec 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2529182
Aktenzeichen
EP11705922
Anmeldetag
24. Januar 2011
Veröffentlichung
5. Dezember 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G01B17/06G01B21/32G03F7/20G01N29/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Soitec
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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