Filmbildungsverfahren, Filmbildende Vorrichtung und Vorrichtung zur Steuerung der Filmbildenden Vorrichtung
EP2530182
Art B1
25. März 2015
Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2530182
- Aktenzeichen
- EP11737047
- Anmeldetag
- 26. Januar 2011
- Veröffentlichung
- 25. März 2015
- Erteilung
- 25. März 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/34H01L21/203H01L21/316C23C14/22C23C14/35C23C14/56H01J37/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Canon Anelva Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon Anelva
Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.
421 Patente in unserer Datenbank
Kanzlei
Maucher Jenkins
Freiburg im Breisgau, Deutschland
Maucher Jenkins ist eine anglo-deutsche IP-Kanzlei mit britischen Wurzeln bis 1937, entstanden 2016 durch Zusammenschluss mit dem Freiburger Haus. Präsent in Deutschland, Großbritannien, der Schweiz und China, als Brücke zwischen den Rechtsräumen.
9.290
Patente gesamt
8
Patentanwälte
3
Standorte
Weitere Vertreter
-
Musker, David Charles
NoneLondon
-
Houle, Timothy James
Canon Europe Ltd · London