MEMS-Oszillator in beheizter Kammer mit Temperaturregelung

EP2530836 Art A1 5. Dezember 2012

Anmelder: IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2530836
Aktenzeichen
EP11168330
Anmeldetag
31. Mai 2011
Veröffentlichung
5. Dezember 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H03H9/02H03H9/08H03H9/10// H03H9/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IMEC
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

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