Verfahren zur Herstellung einer Mikrostruktur und optisch strukturierbare Opferfilmherstellungszusammensetzung
EP2533099
Art B1
29. Oktober 2014
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2533099
- Aktenzeichen
- EP12167298
- Anmeldetag
- 9. Mai 2012
- Veröffentlichung
- 29. Oktober 2014
- Erteilung
- 29. Oktober 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/023G03F7/20G03F7/40H01L21/00B81C1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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Vertreten von
Stoner, Gerard Patrick
London, Großbritannien
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