Sulfonsalz, Polymer, dieses enthaltende chemisch verstärkte Resist-Zusammensetzung, und Strukturierungsverfahren
EP2533101
Art B1
19. November 2014
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2533101
- Aktenzeichen
- EP12003989
- Anmeldetag
- 22. Mai 2012
- Veröffentlichung
- 19. November 2014
- Erteilung
- 19. November 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C08F220/38C07C309/12C07C309/19C07C309/22C08F20/28G03F7/004G03F7/039
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff
München, Deutschland
Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.
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