Verfahren zur Erkennung von eingebetteten Hohlräumen in einem Halbleitersubstrat

EP2533276 Art A1 12. Dezember 2012

Anmelder: IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2533276
Aktenzeichen: EP11168942
Anmeldetag: 7. Juni 2011
Veröffentlichung: 12. Dezember 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/768H01L21/66H01L21/288

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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