Verfahren zur blasenfreien Passivierung einer Siliziumoberfläche

EP2533305 Art A3 21. Mai 2014

Anmelder: IMEC, Katholieke Universiteit Leuven 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2533305
Aktenzeichen: EP12170534
Anmeldetag: 1. Juni 2012
Veröffentlichung: 21. Mai 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L31/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC
Katholieke Universiteit Leuven
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 Katholieke Universiteit Leuven

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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