Unterbeschichtungsfilmmaterial sowie Verfahren zur Formierung einer Mehrschichtigen Resiststruktur

EP2535768 Art A1 19. Dezember 2012

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2535768
Aktenzeichen: EP11741987
Anmeldetag: 18. Januar 2011
Veröffentlichung: 19. Dezember 2012
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/11H01L21/027H01L21/3065G03F7/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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