Erkennungsverfahren und Erkennungsvorrichtung

EP2535923 Art B1 17. Juni 2020

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2535923
Aktenzeichen: EP11739588
Anmeldetag: 8. Februar 2011
Veröffentlichung: 17. Juni 2020
Erteilung: 17. Juni 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/02H01L21/66H01L21/68H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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