Gasphasenabscheidungsverfahren für Sicoh-Filme mit Niedriger Dielektrizitätskonstante
EP2536867
Art A2
26. Dezember 2012
Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2536867
- Aktenzeichen
- EP11745219
- Anmeldetag
- 17. Februar 2011
- Veröffentlichung
- 26. Dezember 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/30C23C16/50C23C16/18H01L21/205C23C16/40H01L21/316
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Air Liquide
Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.
2.774 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Grout de Beaufort, François-Xavier
Paris, Frankreich
183
Patente gesamt
20
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte