Gasphasenabscheidungsverfahren für Sicoh-Filme mit Niedriger Dielektrizitätskonstante

EP2536867 Art A2 26. Dezember 2012

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2536867
Aktenzeichen
EP11745219
Anmeldetag
17. Februar 2011
Veröffentlichung
26. Dezember 2012
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/30C23C16/50C23C16/18H01L21/205C23C16/40H01L21/316
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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