Laservorrichtung, Vorrichtung zur Erzeugung von Extremem Uv-Licht und Verfahren zur Wartung der Vorrichtungen
EP2537213
Art A2
26. Dezember 2012
Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2537213
- Aktenzeichen
- EP11708582
- Anmeldetag
- 16. Februar 2011
- Veröffentlichung
- 26. Dezember 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01S3/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Gigaphoton Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Gigaphoton
Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.
539 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Hards, Andrew
München, Deutschland
144
Patente gesamt
25
Fachgebiete
3
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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Global IP Europe Patentanwaltskanzlei
Global IP Europe Patentanwaltskanzlei · München