Vorrichtung zur Herstellung einer Dünnschicht, Verfahren zur Herstellung einer Dünnschicht sowie Wartungsverfahren für die Vorrichtung zur Herstellung einer Dünnschicht

EP2537956 Art A1 26. Dezember 2012

Anmelder: KANEKA CORPORATION, Kaneka Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2537956
Aktenzeichen: EP11744561
Anmeldetag: 9. Februar 2011
Veröffentlichung: 26. Dezember 2012
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/44H01L21/205H01L21/677H01L31/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: KANEKA CORPORATION
Kaneka Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kaneka

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Osaka. Kaneka stellt Kunststoffe, funktionale Chemikalien, Lebensmittelzusatzstoffe, Medizinprodukte und Materialien für Elektronik und Bauwesen her.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von