Ätzlösung und Ätzverfahren für eine Mehrschichtige Dünnschicht mit einer Kupferschicht und Darin Enthaltene Molybdänschicht

EP2537960 Art B1 1. April 2015

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2537960
Aktenzeichen: EP11742363
Anmeldetag: 15. Februar 2011
Veröffentlichung: 1. April 2015
Erteilung: 1. April 2015
Rechtsraum: EP
IPC: C23F1/18C23F1/26C23F1/44H01L21/3213H01L23/532

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

2.580 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von