Epitaktisches Substrat und Herstellungsverfahren dafür

EP2538435 Art B1 11. September 2019

Anmelder: NGK Insulators, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2538435
Aktenzeichen
EP10846176
Anmeldetag
2. Dezember 2010
Veröffentlichung
11. September 2019
Erteilung
11. September 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/205C23C16/34C30B29/38H01L21/20H01L21/338H01L29/778H01L29/812C30B25/18C30B29/40H01L21/02H01L29/04H01L29/20H01L29/205
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NGK Insulators, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan

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