Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung des Betriebs einer Pumpe auf der Basis von Filterinformationen eines Filterinformationsetiketts

EP2539589 Art B1 21. Oktober 2015

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2539589
Aktenzeichen
EP11712362
Anmeldetag
18. Februar 2011
Veröffentlichung
21. Oktober 2015
Erteilung
21. Oktober 2015
Rechtsraum
EP
IPC
F04B49/06F04B49/10F04B53/22
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)

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