Verfahren und System für den Optimierten Betrieb einer Pumpe
EP2539848
Art B1
17. Juli 2019
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2539848
- Aktenzeichen
- EP11708358
- Anmeldetag
- 18. Februar 2011
- Veröffentlichung
- 17. Juli 2019
- Erteilung
- 17. Juli 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G06K7/00G06K7/10F04B23/06F04B53/20F04B49/06F04B41/06B01D61/22B01D65/10C02F1/00C02F1/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Vertreten von
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar
-
Betten & Resch
Betten & Resch · München