Verfahren und Vorrichtung für Verlängerte Lebensdauer und Leistung einer Ionenquelle in einem Ionenimplantationssystem
EP2539923
Art A2
2. Januar 2013
Anmelder: ENTEGRIS INC., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2539923
- Aktenzeichen
- EP11748213
- Anmeldetag
- 26. Februar 2011
- Veröffentlichung
- 2. Januar 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/265H01J37/317H01J37/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ENTEGRIS INC.
Advanced Technology Materials, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Kanzlei
Sonnenberg Harrison Partnerschaft mbB
München, Deutschland
Aus der Kanzlei Sonnenberg Fortmann hervorgegangen, Teil der internationalen 24IP Law Group mit Büros in Berlin, London, Paris und den USA. Deckt neben Patenten auch Markenrecht, das Einheitliche Patentgericht sowie Datenschutz ab.
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Greaves Brewster LLP · Cheddar