Waferäquivalent, Verfahren zu dessen Herstellung sowie Verwendung

EP2539938 Art A1 2. Januar 2013

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Wissenschaft E.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2539938
Aktenzeichen: EP11706749
Anmeldetag: 21. Februar 2011
Veröffentlichung: 2. Januar 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01L31/0224H01L31/18H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Wissenschaft E.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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🇩🇪 Albert-Ludwigs-Universität Freiburg

Deutsche Universität in Freiburg im Breisgau mit Forschung und Lehre in zahlreichen Fachbereichen, darunter Naturwissenschaften, Medizin und Mikrosystemtechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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