Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterschicht

EP2539942 Art B1 14. September 2016

Anmelder: OC3 AG, Solarion AG, Solarion Ag 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2539942
Aktenzeichen
EP10706524
Anmeldetag
22. Februar 2010
Veröffentlichung
14. September 2016
Erteilung
14. September 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01L31/032C23C14/06C23C14/22H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
OC3 AG
Solarion AG
Solarion Ag
Land
🇩🇪 Deutschland

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