Kupferoxid-Ätzmittel und Ätzverfahren damit

EP2540801 Art A1 2. Januar 2013

Anmelder: Asahi Kasei E-materials Corporation, Asahi Kasei Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2540801
Aktenzeichen: EP11747093
Anmeldetag: 14. Januar 2011
Veröffentlichung: 2. Januar 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/033H01L21/3213G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Asahi Kasei E-materials Corporation
Asahi Kasei Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Asahi Kasei

Asahi Kasei ist ein japanischer Mischkonzern mit Sitz in Tokio, der in den Bereichen Chemie und Kunststoffe, Wohnungsbau sowie Medizintechnik tätig ist. Das 1922 gegründete Unternehmen zählt zu den größten Chemiekonzernen Japans.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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