Elektronenstrahl-Vakuumbearbeitungsvorrichtung
EP2540859
Art B1
20. Dezember 2017
Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2540859
- Aktenzeichen
- EP11744413
- Anmeldetag
- 16. Februar 2011
- Veröffentlichung
- 20. Dezember 2017
- Erteilung
- 20. Dezember 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/30H01J37/06H01J37/065H01J37/10H01J37/147H01J37/304H01J37/305
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Kanzlei
Lorenz & Kollegen
Heidenheim, Deutschland
Lorenz & Kollegen wurde 1976 von Dr. Werner Lorenz als Einzelkanzlei in Heidenheim an der Brenz gegründet, seit 2011 mit zweitem Standort in München. Schwerpunkte in Maschinenbau, Optoelektronik, Elektrotechnik, Physik und Informationstechnologie, dazu Marken- und Urheberrecht.
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