Verfahren zum Herstellen von Dielektrischen Filmen mit Hohem K-Wert auf Basis Neuer Zirkon und Hafnium Vorläufern und Ihre Verwendung zur Halbleiterherstellung
EP2540861
Art B1
14. Januar 2015
Anmelder: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2540861
- Aktenzeichen
- EP12185967
- Anmeldetag
- 16. März 2007
- Veröffentlichung
- 14. Januar 2015
- Erteilung
- 14. Januar 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/18C07F7/00H01L21/314H01L21/316C23C16/30C23C16/40C23C16/34C07F17/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Air Liquide
Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.
2.774 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Grout de Beaufort, François-Xavier
Paris, Frankreich
183
Patente gesamt
20
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte