Säule für Chromatografie, Herstellungsverfahren dafür und Analysegerät

EP2541245 Art A1 2. Januar 2013

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Shinwa Chemical Industries Limited, Shinwa Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2541245
Aktenzeichen: EP10846653
Anmeldetag: 24. Dezember 2010
Veröffentlichung: 2. Januar 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G01N30/60B01L3/00// G01N30/88

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Shinwa Chemical Industries Limited
Shinwa Chemical Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von