Geschichtetes Halbleitersubstrat und Herstellungsverfahren dafür

EP2541589 Art B1 28. August 2013

Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2541589
Aktenzeichen
EP11191535
Anmeldetag
1. Dezember 2011
Veröffentlichung
28. August 2013
Erteilung
28. August 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/20H01L21/24H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Siltronic AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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